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发布日期:2024-05-25 11:04    点击次数:112

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近日,杭州镓仁半导体有限公司皆集浙江大学杭州国外科创中心(简称科创中心)先进半导体谈论院、硅及先进半导体材料宇宙重心实验室使用锻造法得手制备了高质料4英寸氧化镓单晶,并完成了4英寸氧化镓晶圆衬底技艺冲破。

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锻造法是科创中心首席科学家杨德仁院士团队自主研发的、适用于氧化镓单晶滋长的新式熔体法技艺,其滋长的氧化镓晶圆具有两个显贵上风,一是由于接管了熔体法新门路,显贵减少了贵金属铱的使用量,使得氧化镓滋长经过不仅更浅显可控,况且资本也更低,具有更精深的产业化前程;二是使用该措施滋长出的氧化镓为柱状晶,可得志不同使用场景的需求。

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“每克铱的价钱就高达上千元,不错说是比黄金更珍稀的贵金属。但主流措施滋长氧化镓晶体使用的盛放熔体的坩埚及配件,需要大都的贵金属铱,因此往时一直难以镌汰衬底资本。”团队厚爱东谈意见辉教师说,“咱们接管的措施大幅减少了铱的使用,资本更低,对产业化来说具有本质真理。”

氧化镓是一种超宽禁带材料,领有超宽带隙(4.2-4.9eV)、超高临界击穿场强(8MV/cm)、超强透明导电性等优异物感性能,它的各项性能宗旨较硅、碳化硅以及氮化镓有着显贵的上风。

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氧化镓主要诓骗于通讯、雷达、航空航天、高铁动车、新动力汽车等界限的放射探伤界限的传感器芯片,以及在大功率和超大功率芯片。

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现在,列国半导体企业都在争相布局氧化镓,但均在产业化前夕。

起原:化合物半导体商场